< 클린룸 >
1. 개념
1) 반도체 생산공장, 제약회사 등에서 제품 생산을 위해 필요한 항온항습, 고청정도를 유지할 수 있는 공간
2) 클린룸 청정도 유지를 위해서는 환기 횟수, 기류이동방향, 기류속도 등의 제어가 중요함
2. 클린룸 종류
1) ICR (industry clean room) : 반도체 산업 등에서 사용하는 클린룸
2) BCR (bio clean room) : 제약회사, 바이오산업 등에서 사용하는 클린룸
3) SCR (super clean room) : 이상적인 클린룸, 현재 산업현장에서 사용되는 사례는 없음
3. 클린룸 4대 원칙
1) 먼지 유입 및 침투 방지
2) 먼지 발생 방지
3) 먼지 집적 방지
4) 먼지 신속 제거
4. 클린룸 공조방식 종류
1) clean 덕트 컨밴션 방식
① 원리
클린룸 외부에 위치한 기계실에 공조기가 있고 덕트를 통해 항온항습된 공기가 클린룸 내부로 공급되는 방식
헤파필터는 각 덕트의 말단에 위치함
② 특징
가장 일반적인 클린룸 방식, 난류방식
2) 패키지 컨밴션 방식
① 원리 공조기와 헤파필터가 패키지 방식으로 결합되어 있고 클린룸 내부에 위치함 ② 특징 건축면적 절감 (클린룸 내부에 공조기가 위치하므로 기계실 면적 절감) 유지관리 용이 (패지키 방식으로 결합되어 있으므로 유지관리 비교적 손쉬움) 난류방식
3) 실내덕트 방식
① 원리
패키지 방식에서 덕트를 이용해 급기 하는 방식
② 특징
공조효율 증가 (급기를 덕트를 이용하여 공급하므로 효율 증대)
초기 비용 증가 (패키지 방식에 비해 덕트 시공 비용 증가)
유지관리 비교적 어려움 (패키지 방식에 비해 유지관리 노력 증대)
4) 패키지 FFU 방식
① 원리
항온항습기와 FFU를 분리하여 FFU는 클린룸 천장에 설치하는 방식
② 특징
유지관리 난해 (천장에 FFU 가 설치되므로 유지관리 어려움)
클린룸 청정도 증가 (클린룸 곳곳에 FFU가 가동되므로 공기 청정 효과 증대)
난류방식
5) 수직층류 방식
① 원리 : 클린룸 천장과 바닥의 공간을 통해 항온항습 공기를 급기하고 배기하는 방식. 기류가 위에서 아래로 수직방향으로 흐름
② 특징
고청정도 유지
층류방식
초기 설비 투자 비용 증가
6) 수평층류 방식
① 원리 : 수직층류 방식과 유사하지만 기류의 방향이 수평인 클린룸
② 특징
층류방식
고청정도 요구 시 사용
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